石墨舟承載車

產(chǎn)品描述：
石墨舟承載車機(jī)的詳細(xì)信息

主要特點(diǎn)
◇ 能準(zhǔn)確的把石墨舟從PECVD中取出來(lái)。
◇ 能平穩(wěn)的把石墨舟在小車上旋轉(zhuǎn)180度，傾斜翻轉(zhuǎn)，確保簡(jiǎn)易方便的裝硅片。
◇ 承載裝片車能夠與PECVD準(zhǔn)確的定位。
參 數(shù) 采用不銹鋼和鋁型材；采用可調(diào)式油壓緩沖器，減少?zèng)_擊，定位平穩(wěn)。

產(chǎn)品提示：
全自動(dòng)硅片旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機(jī), 全自動(dòng)預(yù)沖洗脫膠機(jī), 砂漿攪拌桶, 插片機(jī), 硅片盒, 全自動(dòng)硅片清洗機(jī), 裝框機(jī), 石墨舟裝片房, 石墨舟冷卻房, 石墨舟承載車, 石墨舟清洗機(jī), 石英管清洗機(jī), 全自動(dòng)升降式PECVD碳板輸送線, 單晶石英坩堝