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1.
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無塵室範(fàn)圍： |
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2.
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儀器使用人員規(guī)範(fàn)： |
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2.1 |
儀器使用人員分為四級： |
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(1) 超級使用者(superuser)
(2) 合格使用者(user)
(3) 學(xué)生(student)
(4) 特約儀器廠商或計畫合作單位 |
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2.2 |
只有超級使用者與合格使用者可自由使用無塵室內(nèi)之儀器、設(shè)備及耗材。儀器、設(shè)備及耗材之使用僅限於無塵室負(fù)責(zé)教授所認(rèn)可之相關(guān)計劃或課程，不得使用於未經(jīng)核可之不相關(guān)計劃及製程。無塵室內(nèi)儀器、設(shè)備及耗材除無塵室負(fù)責(zé)教授所認(rèn)可之外不得隨意攜出無塵室外以為他用。 |
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2.3 |
合格使用者之認(rèn)定只能由超級使用者負(fù)責(zé)考核。 |
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2.4 |
學(xué)生欲使用儀器時必須有合格使用者以上等級人員全程陪同。 |
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2.5 |
各儀器之合格使用者名單至於各儀器旁。 |
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2.6 |
外來之儀器維修及裝配人員進(jìn)入無塵室前必須報備化學(xué)區(qū)管理人員取得臨時進(jìn)入許可。 |
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2.7 |
非化學(xué)區(qū)核可進(jìn)入之人員如欲進(jìn)入?yún)⒂^化學(xué)區(qū)，請向化學(xué)區(qū)負(fù)責(zé)教授報備核可後進(jìn)入?yún)⒂^，不得隨意自行攜入?yún)⒂^。 |
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2.8 |
修習(xí)實驗課之學(xué)生進(jìn)出無塵室均應(yīng)由實驗課助教帶領(lǐng)，不得私自進(jìn)入。 |
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3.
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無塵室儀器使用規(guī)範(fàn)： |
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3.1 |
操作無塵室內(nèi)儀器時，請務(wù)必依照操作程序使用儀器，除非經(jīng)負(fù)責(zé)儀器之超級使用者共同同意，不得私自更改操作程序，違者暫停使用該儀器。 |
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3.2
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使用無塵室之儀器需登記使用時間及儀器狀況，若有問題請尋求各儀器之超級使用者協(xié)助解決。 |
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4.
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無塵室使用守則： |
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4.1 |
確定瞭解實驗室內(nèi)眼睛沖洗器、滅火器、葡萄酸鈣及沖洗站的放置地點，並熟悉逃生路線的位置與意外事故處理程序。 |
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4.2 |
如果發(fā)生緊急狀況，請立刻打119或校內(nèi)緊急分機(jī)50000，通知無塵室管理人員和緊急醫(yī)療機(jī)構(gòu)。 |
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4.3 |
隨時保持整潔，勿將垃圾留給別人，棉花棒、廢棄物勿隨手丟，應(yīng)置入垃圾桶內(nèi)。 |
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4.4 |
非必要勿停留在無塵室內(nèi)，勿在無塵室內(nèi)踏步來回走動或躺臥休息。 |
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4.5 |
禁止在乘坐無塵室內(nèi)的椅子時，滑動椅子滾輪到另一處，以免傷害靜電地板。 |
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4.6 |
不論何時，至少要有兩位使用者在無塵室內(nèi)，若你可能落單請攜伴同行。 |
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4.7 |
在無塵室內(nèi)，不得飲食、嬉鬧或從事其它與實驗無關(guān)的事情。 |
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4.8 |
勿在處理化學(xué)藥品或有危險的過程及程序時交談。 |
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4.9 |
私人物品(手提袋，書籍等)須留置於置物櫃，不得亂丟。 |
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4.10 |
永遠(yuǎn)專注在特殊的工作上。並且，對你周遭的環(huán)境也要保持警覺，尤其是各種潛在的危險狀況。 |
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4.11 |
無塵室內(nèi)勿穿著無袖背心、短褲、短裙、高跟鞋或涼鞋，穿著長褲之長度須能遮蓋住皮膚，且須著襪。 |
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4.12 |
進(jìn)入無塵室前應(yīng)先脫鞋放入門外之鞋櫃內(nèi)，再進(jìn)入無塵室穿戴無塵衣、帽、鞋及口罩，帽子須將頭髮全部包住，無塵衣不得穿出無塵室外。 |
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4.13 |
實驗過程中務(wù)必穿著實驗衣，無論是否戴眼鏡，最好配戴護(hù)目鏡。 |
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4.14 |
無塵室中請勿戴隱形眼鏡，亦不可化妝。 |
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4.15 |
請勿攜帶個人物品進(jìn)入無塵室，必要之無塵紙、原子筆、Mask 、Wafer 及其 他工具(鑷子、夾子)等除外。 |
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4.16 |
一般塑膠袋不可攜入無塵室，若裝有物品，應(yīng)於更衣室即把塑膠袋丟掉或放在顯示聯(lián)合實驗室專用櫃收藏。 |
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4.17 |
所使用之器皿如有損壞或藥品潑出須立即報備無塵室負(fù)責(zé)人員以即時處理。 |
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4.18 |
非無塵室所提供或認(rèn)可之化學(xué)藥品、元件、製程，不得進(jìn)入本實驗室。 |
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4.19 |
儀器、設(shè)備攜入無塵室前，請先於更衣間用IPA 擦拭乾淨(jìng)。 |
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4.20 |
勿將氮氣直接吹向人員，以免造成缺氧窒息。 |
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4.21 |
在無塵室內(nèi)不得使用任何會產(chǎn)生顆粒之物品(鉛筆等)。 |
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4.22 |
手機(jī)禁止攜入無塵室內(nèi)，請放置於更衣間。 |
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4.23 |
無塵室內(nèi)電話或電腦僅供實驗相關(guān)之事宜聯(lián)絡(luò)或資料紀(jì)錄及傳輸使用，請勿以私人事務(wù)佔據(jù)使用。 |
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4.24 |
無塵室內(nèi)之設(shè)備，請勿自行更動設(shè)定。若欲改變設(shè)定，請通知各機(jī)臺管理人。 |
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4.25 |
學(xué)生不得穿越化學(xué)區(qū)和無塵室之通道及其他貼有禁止通行標(biāo)語的區(qū)域。 |
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4.26 |
各實驗室之物品，請存放各實驗室位於迴風(fēng)區(qū)之鐵櫃。 |
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5.
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無塵室化學(xué)藥品操作安全規(guī)定： |
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5.1 |
若工作過程中使用到酸、有毒或致命的溶劑或其他有危險的化學(xué)藥品，請永遠(yuǎn)使用有抽氣的化學(xué)清洗槽，且穿戴安全的裝備。 |
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5.2 |
使用完畢之藥品、燒杯、晶片，務(wù)必物歸原位，並做適當(dāng)清洗處理，clean hood 及周遭環(huán)境均須清理乾淨(jìng)。 |
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5.3 |
絕對不要把任何沒有貼上危險物質(zhì)辨識標(biāo)籤且尚未用水沖洗的瓶罐或容器放在一起；絕對不要把任何尚未用水沖洗的瓶罐或容器和標(biāo)示著“已沖洗”的容器放在一起。當(dāng)任何化學(xué)廢棄物瓶罐或容器是空的，立刻開始清洗處理程序。 |
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5.4 |
化學(xué)藥品用畢後請用DI water清洗空瓶3 次，並在空瓶外側(cè)標(biāo)明“已沖洗”。 |
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5.5 |
使用含有氫氟酸(HF)之酸性溶液時切忌使用玻璃燒杯和金屬鑷子，以免腐蝕，應(yīng)使用鐵氟龍燒杯及鑷子。 |
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5.6 |
使用過之濾紙、手套等耗材應(yīng)按照分類丟棄，保持環(huán)境清潔。 |
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5.7 |
當(dāng)一般使用之化學(xué)藥品只剩原本容量之三分之ㄧ時，請通知化學(xué)區(qū)管理人員。 |
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6.
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化學(xué)藥品使用安全守則： |
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6.1 |
配製酸鹼溶液時，應(yīng)該酸鹼滴入水中，若有H2O2 則最後倒入。 |
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6.2 |
有機(jī)溶劑與無機(jī)酸類不得混用，以免發(fā)生危險。 |
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6.3 |
膚不小心沾到一般酸鹼類時，應(yīng)立即用大量清水沖洗。若被含有HF 之溶液沾到時須先用大量清水沖洗，再使用葡萄酸鈣塗佈傷處15 分鐘，然後使用清水沖洗乾淨(jìng)，並送醫(yī)處理。 |
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6.4 |
如果含有HF 之溶液潑出，可用石灰中和。 |
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6.5 |
有機(jī)溶劑使用時應(yīng)用玻璃燒杯。 |
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6.6 |
實驗作業(yè)中，絕不可無人照料，必須離開時，應(yīng)請人代為照料，或清楚標(biāo)示該化學(xué)藥品名稱、使用時間、使用者及緊急聯(lián)絡(luò)方式。 |
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6.7 |
使用化學(xué)藥品時，請使用已標(biāo)示該化學(xué)藥品之容器，以避免交叉汙染。 |
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6.8 |
化學(xué)藥品使用完畢必須立即處理，不可儲存於hood 中，需長時間使用之化學(xué)藥品，以置放於hood 中一天為原則並須加註清楚標(biāo)示(特殊情況於報備負(fù)責(zé)教授同意後不在此限)。 |
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7.
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有機(jī)溶劑注意事項： |
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7.1 |
有機(jī)溶劑皆具毒性，勿輕易吸入，亦勿觸及皮膚。有機(jī)溶劑由皮膚滲入血液中，會對肝臟造成傷害。 |
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7.2 |
有機(jī)溶劑之容器，不論使否在使用中，都應(yīng)隨手關(guān)緊。 |
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7.3 |
吸入有機(jī)溶劑會使人產(chǎn)生頭痛、疲倦感、目眩、貧血及肝臟傷害等不良影響。 |
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7.4 |
在使用有機(jī)溶劑前,應(yīng)具備熟知該物質(zhì)之安全特性，並事先詳讀安全資料表(MSDS)。 |
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7.5 |
有機(jī)溶劑操作區(qū)，嚴(yán)禁使用會產(chǎn)生煙、火之設(shè)備或裝置。 |
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8.
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廢液處理守則： |
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8.1 |
實驗室廢液分類，請參見附表一，請倒入合適分類之廢液桶中。 |
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8.2 |
只有下列常用之酸性液體可經(jīng)由充分稀釋後倒入水槽：醋酸、硫酸、磷酸、硝酸及鹽酸。其他化學(xué)藥品嚴(yán)禁隨意傾倒。 |
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8.3 |
酸鹼類或有機(jī)溶劑使用完畢後，如不再使用，請倒入合適分類之廢液桶中。 |
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8.4 |
加熱過之化學(xué)藥品須待其冷卻後再倒入合適之廢液桶中。 |
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8.5 |
廢液桶滿了應(yīng)放置廢液儲存區(qū)，以免氣味瀰漫化學(xué)區(qū)。 |
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9.
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實驗室相關(guān)資訊： |
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9.1 |
實驗室負(fù)責(zé)人: 高珮宜 電話：03-5712121#59323 |
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9.2 |
實驗室負(fù)責(zé)教授：冉曉雯 助理教授 電話：03-5712121#59323 |
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9.3 |
緊急連絡(luò)分機(jī)：50000 (警衛(wèi)室光復(fù)前門) |
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10.
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參考來源 : |
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(1) 國立臺灣大學(xué)奈米機(jī)電系統(tǒng)研究中心
(2) 國立清華大學(xué)工科系微系統(tǒng)製程實驗室使用規(guī)則
(3) 國立清華大學(xué)微機(jī)電所
(4) 國立交通大學(xué)奈米中心
(5) 國立成功大學(xué)實驗廢棄物管理暫行辦法 |