在使用化學(xué)試劑之前，必須對其安全性能有一個全面的了解，這樣，在使用時，才能有針對性地采取一些安全防范措施，以避免由于使用不當(dāng)造成對實(shí)驗(yàn)人員和實(shí)驗(yàn)設(shè)備的危害。
  一、化學(xué)試劑的安全性能分類：
  1. 易燃易爆化學(xué)試劑
  一般閃點(diǎn)<25℃
  極易揮發(fā)的液體
  遇明火即可燃燒，閃點(diǎn)越低越易燃燒
   乙醚、汽油、苯、乙酸乙酯，閃點(diǎn)<-4℃
   2. 有毒化學(xué)試劑
   一般的化學(xué)試劑對人體都有毒害，使用時應(yīng)避免大量吸入，使用后要及時洗手，吸入少量即中毒的試劑，稱為劇毒化學(xué)試劑。LD50――生物實(shí)驗(yàn)中至死量在50mg/kg以下。
   氰化鉀、氰化鈉等氰化物，砷化物（As2O5）。半導(dǎo)體生產(chǎn)中不慎會引起砷中毒、硫酸、二甲酯等。
   3. 腐蝕性化學(xué)試劑
   任何化學(xué)試劑碰到皮膚、粘膜、眼睛、呼吸器官時都要及時清洗，特別是接觸腐蝕性極強(qiáng)的化學(xué)試劑，如各種酸和堿：H2SO4、HCL、HNO3、NaOH、KOH。
   4. 強(qiáng)氧化性化學(xué)試劑
  強(qiáng)氧化性化學(xué)試劑都是過氧化物或是含有強(qiáng)氧化能力的含氧酸及其鹽如高氯酸及其鹽，高錳酸及其鹽，重鉻酸及其鹽（重鉻酸鉀），五氧化二磷等。強(qiáng)氧化性化學(xué)試劑在適當(dāng)條件下可放出氧發(fā)生爆炸，使用此類物質(zhì)時，環(huán)境溫度不能高于30℃，通風(fēng)要良好。
   5. 放射性化學(xué)試劑（略）。
   二、本公司常用化學(xué)試劑的使用和安全防護(hù)
   1. 為什么要使用化學(xué)試劑？哪些工序使用？
   ( 1 )晶片表面清洗：
   目的：去除晶片表面的各種沾污
   沾污類型：分子型沾污；離子型沾污；原子型沾污
   分子型沾污：是天然的和人造的酯類，樹脂和油類等有機(jī)物，其分子雜質(zhì)常借助微弱的靜電引 力與晶片表面相結(jié)合，由于它們不溶于水，使晶片表面成為疏水性，它妨礙了用去離子水除去表面吸附的離子和金屬雜質(zhì)。因此必須首先除去。使用汽油（甲苯）、丙酮、無水乙醇。
  離子型沾污：晶片表面由于物理吸附或化學(xué)吸附的關(guān)系，吸附各類離子，引起表面漏電，使器件工作性能不穩(wěn)定及變壞。一般用去離子水清洗即可?；瘜W(xué)吸附的用酸類清洗。
  原子型沾污：晶片存放于空氣中或由于某種腐蝕處理后，表面上沾污了重金屬離子或粒子，它們和晶片原子相互作用（氧化、還原）而形成金屬原子，嚴(yán)重影響器件表面電導(dǎo)和其它性能。通常用強(qiáng)氧化劑使之氧化而溶解之。雙氧水即是一種強(qiáng)氧化劑，酸性雙氧水（3＃液）能溶解如Mg鎂、Ni鎳、W鎢、Nb鈮、Pb鉛等重金屬原子，堿性雙氧水（1＃清洗液）可溶解Cu銅、Ag銀、Ni鎳等金屬原子。
   總的來講，清洗所用的化學(xué)試劑有：汽油、硫酸、雙氧水、氫氧化鈉溶液、丙酮、無水乙醇，有的還用HF（如陳老師他們）、HCl、NH4OH等。
  （2）光刻：
   刻圖：主要依賴抗蝕劑――一種高分子聚合物
   顯影液配制：NaOH　　顯影、洗版
   圖形轉(zhuǎn)換：磷酸、丙酮（大量用）、無水乙醇
   洗液：硫酸、高錳酸鉀
  腐蝕Cr：高氯酸
   將來干法腐蝕要用到如下化學(xué)物品：
   腐蝕SiO2：CF4、CF4＋H2、C2F6、C3F8（氟里昂）、CHF3、（三氟甲烷）
  腐蝕Al　Al－Si：CCl4、CCl4＋Cl2、SiCl4、BCl3、
   Al－Cu：BCl3＋Cl 2
  （3）鍍膜：
   處理靶材，清洗鎢桿，需用到磷酸、NaOH、丙酮、無水乙醇等。
   （4）后道：
   溶解紅膠：乙二醇獨(dú)丁醚、三氯甲烷
   粘片：紅膠（過渡用，易于返工取片）
   吸聲：綠膠
   粘片：703白膠（常用）
   成品噴漆：三防漆
   工藝試驗(yàn)：聚酰胺、聚酰亞胺
   2、幾種化學(xué)物品的使用注意事項(xiàng)：
   （1）BP212正性光致抗蝕劑
   該產(chǎn)品屬易燃品（感光中心基因中含有硝基化合物、氨基化合物、重氮化合物），對皮膚和粘膜有刺激作用。使用時應(yīng)戴防護(hù)目鏡和防護(hù)手套，并注意通風(fēng)，防止濺入眼中，防止直接與皮膚接觸或吸入溶劑蒸氣，萬一與眼或皮膚接觸，立即用大量水沖洗患處至少15分鐘。
   （2）丙酮、無水乙醇
   均屬易燃品，其蒸氣與空氣可形成爆炸性混合物，遇明火、高熱，皆能引起燃燒爆炸。使用時不能用電爐加熱，也不能搖晃容器（以本人為例警告）。若眼睛接觸，用清水沖洗。誤食，飲足量溫水，催吐，就醫(yī)。若引起失火，滅火需用抗溶性泡沫干粉、CO2、砂土。
  （3）硫酸
   是強(qiáng)酸，也是強(qiáng)氧化劑，對有機(jī)物作用劇烈，有腐蝕性，有毒，對皮膚、粘膜、眼、呼吸器官均有強(qiáng)烈的刺激、灼燒作用。
   我們清洗工序幾乎每天都要用硫酸和雙氧水配制清洗液，配制時有強(qiáng)烈反應(yīng)（沸騰），故使用時千萬要注意人生防護(hù)及實(shí)驗(yàn)室安全。另外，配制洗液（用于泡燒杯及滴瓶等），要用硫酸和重鉻酸鉀（均屬強(qiáng)氧化劑），當(dāng)硫酸倒入重鉻酸鉀溶液中時，反應(yīng)很強(qiáng)烈，有一定的危險性，配制時，一定要格外小心。遠(yuǎn)離明火和熱源，通風(fēng)要良好，穿防護(hù)圍裙、袖套、戴眼罩，必要的防護(hù)措施，公司應(yīng)給予保證。
   若酸濺到皮膚上，要用稀堿液（或肥皂）清洗。稀釋時，決不能將水往硫酸里倒（水比硫酸比重小，易濺出來），而應(yīng)緩慢地將硫酸往水里倒。一旦發(fā)生事故，千萬要鎮(zhèn)靜。
   （4）二甲苯、氫氟酸（HF）
   二甲苯：是一種無色透明，具有芳香氣味的揮發(fā)性液體，工業(yè)上主要用于制藥、染料、涂料、塑料等。作為溶劑或稀釋劑用于油漆、噴漆等。它引起的急性中毒主要表現(xiàn)為：短時間內(nèi)吸入高濃度后，出現(xiàn)頭痛、頭暈、無力和四肢麻木等，嚴(yán)重時出現(xiàn)昏迷、抽搐。
   前不久，大興縣龐各莊鎮(zhèn)一工廠曾發(fā)生二甲苯儲存罐發(fā)生爆炸。有的說是工人抽煙造成的，有人說是摩擦靜電造成起火。
氫氟酸（HF）：是一種傷害性嚴(yán)重的化學(xué)品。接觸患處，引起紅腫、疼痛，擴(kuò)散很快，若不慎弄到皮膚上，要先用大量的水沖洗，然后立即上指定的職業(yè)病醫(yī)院就醫(yī)。
   我們以前配制SiO2腐蝕液時常用到它，現(xiàn)陳老師他們清洗工序也用它。
   使用時戴好防護(hù)手套、戴口罩，在通風(fēng)柜內(nèi)小心操作。
   （5）氯及含氯化合物
   將來采用干法腐蝕時，必須要氯氣。氯氣的毒性很大，帶有窒息性，對嗓子有傷害，對設(shè)備（如真空系統(tǒng)機(jī)械泵）也有一定的損傷。千萬要注意通風(fēng)、排氣，加強(qiáng)自我防護(hù)。
   （6）其它常用化學(xué)品
  如NaOH（強(qiáng)堿、強(qiáng)腐蝕性、易燃、易燒傷皮膚）、H3PO4（弱酸、易燃）就不詳細(xì)講了。
? 在此提醒大家，在取用化學(xué)物品時，要輕拿輕放，防止撞擊、拖拉和傾倒（前兩天有同志就未注意這點(diǎn)），用完后一定要將瓶蓋擰緊，以免漏氣或再拿時滑落，拿瓶的方法要正確（尤其是很大的大瓶，如硫酸瓶），要戴防護(hù)手套。 ? 上面講了化學(xué)試劑的種種危害，是為了提醒大家一定要從思想上重視，時刻注意安全，但決不要形成恐懼心理，畏首畏尾什么也不敢動了。只要我們認(rèn)認(rèn)真真按操作規(guī)程去做，是不會有什么問題的。幾十年來我和各種化學(xué)試劑打交道不少，現(xiàn)在不也很好嗎？
   3、化學(xué)物品的存放和保管
   （1）存于專用場地、專用室柜、專人管理
   （2）根據(jù)物品種類、性質(zhì)、設(shè)置相應(yīng)的通風(fēng)、防爆、泄壓、報警、滅火、防曬、調(diào)溫、清除靜電等安全措施。
   （3）遇火、遇潮容易燃燒、爆炸或產(chǎn)生有毒氣體的化學(xué)危險物品，不得在潮濕、漏雨和低洼容易積水的地方存放、遠(yuǎn)離明火、熱源。
  （4）應(yīng)在陰涼、通風(fēng)處存放。
   （5）入庫時需檢查、登記（包裝合格否？使用安全防護(hù)說明標(biāo)注否？）定期檢查。