真空泵、真空泵術(shù)語解釋
真空的定義
真空系統(tǒng)指低于該地區(qū)大氣壓的稀簿氣體狀態(tài)
真空度
處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”來表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。
真空度單位
通常用托（Torr）為單位，國際上取用帕（Pa）作為單位。
1托=1/760大氣壓=1毫米汞柱
托與帕的轉(zhuǎn)換
1托=133.322帕 或 1帕=7.5×10-3托
平均自由程
作無規(guī)則熱運動的氣體粒子，相繼兩次碰撞所飛越的平均距離，用符號“λ”表示。
流量
單位時間流過任意截面的氣體量，符號用“Q”表示，單位為帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。
流導(dǎo)
表示真空管道通過氣體的能力。單位為升/秒（L/s），在穩(wěn)定狀態(tài)下，管道流導(dǎo)等于管道流量除以管道兩端壓強差。符號記作“U”。 U=Q/(P2- P1)
壓力或壓強
氣體分子作用于容器壁的單位面積上的力，用“P”表示。
標(biāo)準(zhǔn)大氣壓
壓強為每平方厘米101325達因的氣壓，符號：（Atm）。
極限真空
真空容器經(jīng)充分抽氣后，穩(wěn)定在某一真空度，此真空度稱為極限真空。通常真空容器須經(jīng)12小時煉氣，再經(jīng)12小時抽真空，最后一個小時每隔10分鐘測量一次，取其10次的平均值為極限真空值。
抽氣速率
在一定的壓強和溫度下，單位時間內(nèi)由泵進氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率，簡稱抽速。即Sp=Q/（P－P0）
冷阱（水冷擋板）
置于真空容器和泵之間，用于吸附氣體或捕集油蒸汽的裝置。
氣鎮(zhèn)閥
油封機械真空泵的壓縮室上開一小孔，并裝上調(diào)節(jié)閥，當(dāng)打開閥并調(diào)節(jié)入氣量，轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)到某一位置，空氣就通過此孔摻入壓縮室以降低壓縮比，從而使大部分蒸汽不致凝結(jié)而和摻入的氣體一起被排除泵外起此作用的閥門稱為氣鎮(zhèn)閥。
真空冷凍干燥
真空冷凍干燥，也稱升華干燥。其原理是將材料冷凍，使其含有的水份變成冰塊，然后在真空下使冰升華而達到干燥目的。
真空蒸鍍
在真空環(huán)境中，將材料加熱并鍍到基片上稱為真空蒸鍍，或叫真空鍍膜。
真空干燥
利用真空環(huán)境下沸點低的特點來干燥物品的方法。
真空系統(tǒng)常用名稱
①主泵：在真空系統(tǒng)中，用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵，如真空鍍膜機中的油擴散泵就是主泵。
②前級泵：用于維持某一真空泵前級壓強低于其臨界前級壓強的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級泵。
③粗抽泵：從大氣壓下開始抽氣，并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機中的滑閥泵，就是粗油泵。
性能參數(shù)
⑴ 真空泵的極限壓強
泵的極限壓強單位是Pa，是指泵在入口處裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗罩并按規(guī)定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩(wěn)定的最低壓強。
⑵ 真空泵的抽氣速率
泵的抽氣速率單位是m3/s或l/s，是指泵裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗罩，并按規(guī)定條件工作時，從試驗罩流過的氣體流量與在試驗罩指定位置測得的平衡壓強之比。簡稱泵的抽速。
⑶ 真空泵的抽氣量
真空泵的抽氣量單位是Pam3/s或Pal/s。是指泵入口的氣體流量。
⑷ 真空泵的起動壓強
真空泵的起動壓強單位為Pa，它是指泵無損壞起動并有抽氣作用時的壓強。
⑸ 泵的前級壓強
真空泵的前級壓強單位是Pa，它是指排氣壓強低于一個大氣壓的真空泵的出口壓強。
⑹ 真空泵的最大前級壓強
真空泵口最大前級壓強單位是Pa，它是指超過了能使泵損壞的前級壓強。
⑺ 真空泵的最大工作壓強
真空泵的最大工作壓強單位是Pa，它是指對應(yīng)最大抽氣量的入口壓強。在此壓強下，泵能連續(xù)工作而不惡化或損壞。
⑻ 壓縮比
壓縮比是指泵對給定氣體的出口壓強與入口壓強之比。
⑼ 何氏系數(shù)
泵抽氣通道面積上的實際抽速與該處按分子瀉流計算的理論抽速之比。
⑽ 抽速系數(shù)
泵的實際抽速與泵入口處按分子瀉流計算的理論抽速之比。
⑾ 返流率
泵的返流率單位是g/cm2.s。它是指泵按規(guī)定條件工作時，通過泵入口單位面積的泵流質(zhì)量流率。
⑿ 水蒸氣允許量
水蒸氣的允許量單位是kg/h，它是指泵在正常環(huán)境條件下，氣鎮(zhèn)泵在連續(xù)工作時能抽除的水蒸氣質(zhì)量流量。
⒀ 最大允許水蒸氣入口壓強
最大允許水蒸氣入口壓強單位是Pa。它是指在正常環(huán)境條件下，氣鎮(zhèn)泵在連續(xù)工作時所能抽除的水蒸氣的最高入口壓強。
壓強范圍
真空泵種類 工作壓強范圍（Pa） 起動壓強（Pa）
活塞式真空泵 1×105～1.3×102 1×105
旋片式真空泵 1×105—6.7×10-1 1×105
水環(huán)式真空泵 1×105—2.7×103 1×105
羅茨真空泵 1.3×103—1.3 1.3×103
渦輪分子泵1.3—1.3×10-5 1.3
水蒸氣噴射泵 1×105—1.3×10 -1 1×105
油擴散泵 1.3×10-2—1.3×10 -7 1.3×10
油蒸氣噴射泵 1.3×10—1.3×10 -2 <1.3×105
分子篩吸附泵 1×105—1.3×10 -1 1×105
濺射離子泵 1.3×10-3—1.3×10 -9 6.7×10-1
鈦升華泵 1.3×10-2—1.3×10 -9 1.3×10-2
鋯鋁吸氣劑泵 1.3×10—1.3×10 -11 1.3×10
低溫泵 1.3—1.3×10-11 1.3—1.3×10-1