真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內(nèi)的氣體壓力，使之達(dá)到要求的真空度。概括地講從大氣到極高真空有一個(gè)很大的范圍，至今為止還沒(méi)有一 種真空系統(tǒng)能覆蓋這個(gè)范圍。因此，為達(dá)到不同產(chǎn)品的工藝指標(biāo)、工作效率和設(shè)備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置。為達(dá)到最佳配置， 選擇真空系統(tǒng)時(shí)，應(yīng)考慮下述各點(diǎn)：( \. w! b" y0 }3 Z! j+ |7 i

9 Z, ~9 [- N% m  w, \確定工作真空范圍: ----首先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度。因?yàn)槊恳环N工藝都有其適應(yīng)的真空度范圍，必須認(rèn)真研究確定之。
. E! q$ b/ |$ T  z0 j' ]& R確定極限真空度
+ A0 h6 |. d4 A----在確定了工藝要求的真空度的基礎(chǔ)上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度，因?yàn)橄到y(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的最佳工作真空度。一般來(lái)講，系統(tǒng)的極限真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%，比前級(jí)泵的極限真空度低50%。7 H* B  Q8 G% C( V. F7 K' Q. Y. b
被抽氣體種類與抽氣量( z5 b- K  J0 i$ O: ~" `
     檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因?yàn)槿绻怀闅怏w種類與泵內(nèi)液體發(fā)生反應(yīng)，泵系統(tǒng)將被污染。同時(shí)必須考慮確定合適的排氣時(shí)間與抽氣過(guò)程中產(chǎn)生的氣體量。5 z+ h& G. X) y' [, U7 ?+ v+ _+ C' Z" R
真空容積
7 t- h; x5 y" C2 Q- P( y     檢查確定達(dá)到要求的真空度所需要的時(shí)間、真空管道的流阻與泄漏。
# }  ?/ Z3 t6 y+ G( s考慮達(dá)到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。
0 s0 o# X0 m$ d+ H5 U, J( r* U4 f6 H1 k$ p% }
主真空泵的選擇計(jì)算
6 s) i9 p3 @. h& F# c1 H$ ZS=2.303V/tLog(P1/P2), E9 {$ A9 L7 y7 s4 s
其中：
8 I5 ^# e2 B2 ~7 R1 x. p$ ]S為真空泵抽氣速率(L/s)
5 E) r0 W- \2 ?9 _, N( k& o- L5 K: jV為真空室容積（L）
6 F/ J) L8 H, A& X5 f# C. \. Y. it為達(dá)到要求真空度所需時(shí)間(s)7 a: [5 _- r  q* G
P1為初始真空度(Torr)% |$ j9 s9 e8 V- o7 Z: K+ ]0 E
P2為要求真空度(Torr)
- y% x8 V; @; `2 p( G例如：
' l) f$ \9 `# m$ OV=500L8 |2 K! x% m5 O4 N
t=30s- b! v: C, p& q6 ~2 p& |$ }
P1=760Torr
$ `; @+ R' b( E  r8 X% m4 fP2=50Torr+ G: i' O2 W' y; i% n+ L; ^
則: S=2.303V/t Log(P1/P2)2 W6 e' M& j2 d) g8 T( ^
       =2.303x500/30xLog(760/50)
$ G; Q1 [* L2 v( ?       =35.4L/s
/ W+ U- f" P( e% R3 ~: Q      當(dāng)然上式只是理論計(jì)算結(jié)果，還有若干變量因素未考慮進(jìn)去，如管道流阻、泄漏、過(guò)濾器的流阻、被抽氣體溫度等。實(shí)際上還應(yīng)當(dāng)將安全系數(shù)考慮在內(nèi)。