標準名稱 　 ：QSY，DSY透明石英玻璃儀器

標準類型 　 ：中華人民共和國國家標準

標準號　　?。篔C 181-81

標準發(fā)布單位：國家標準局 發(fā)布

標準正文　　：正文

本標準主要用于半導(dǎo)體工業(yè)采用的透明石英玻璃儀器。其他冶金、化工、科學(xué)研究等所用透明石英玻璃儀器之技術(shù)要求均可參考本標準執(zhí)行。

透明石英玻璃儀器有QSY透明石英玻璃儀器和DSY透明石英玻璃儀器兩種。

一、技術(shù)要求

1．透明石英玻璃儀器的化學(xué)成分，熱穩(wěn)定性，抗結(jié)晶性和高溫變色性，均不低于同類管材的要求。

2．透明石英玻璃儀器在加工過程中，應(yīng)盡量消除應(yīng)力，必須保證在常溫下逐步升溫至1100℃，在爐內(nèi)自然冷卻后無炸裂。

3．兩種透明石英玻璃儀器均按加工部位的外觀指標分為二級（見下表）。

項 目 一 級 二級

色 加工過程中混入（毫米） 0.1- 0.3 0.3- 1.0

斑 允許數(shù)量（個/100厘米[2]） ≤2 ≤2

外 管接口應(yīng)做到軸向平行徑向垂直加工 1/2管材壁厚 管材壁厚

表面凸凹不大于所用管材壁厚

型 長度未注明非重要部位的自由公差（毫米） ±3 ±3

錐度（比例） 1∶5、1∶10、1∶15 1∶5、1∶10、1∶15

磨口與未加工亮面呈直徑圓周，彎曲度（毫米） ±1 ±2

磨 磨口內(nèi)亮面（毫米[2]） 不允許 8 {HotTag}

口 允許數(shù)量（個/100厘米[2]） 不允許 ≤1

配 塞口的高低公差（毫米） ±3 ±3

合 二通活塞對孔誤差 ≤1/4 ≤1/3

多通活塞對孔誤差 ≤1/2 ≤3/5

水 面積（毫米[2]） ≤10 11- 50

跡 允許數(shù)量（個/100厘米[2]） ≤2 ≤2

云 在加工復(fù)雜器件的過程中不易避免的部位 不允許 不允許

霧 （半透明云霧）

焊 焊接之彎曲處熔合圓滑 必須完全熔合 必須熔合

折料和料疙瘩處厚度 在壁厚公差范圍內(nèi) 在壁厚公差范圍內(nèi)

接 炸裂紋 不允許 不允許

析晶和指紋印 不允許 不允許

注：

①密封性檢驗方法：將水盛入磨口儀器中，在不涂油脂的情況下，將塞塞緊，倒翻10次，每次在10秒內(nèi)，用濾紙擦試無滲出水液為封口性能合格。

②QSY透明石英玻璃儀器的非主體部分，在不影響性能的情況下，可用外徑D19

毫米以下的DTS1透明石英玻璃管（棒）。

4．透明石英玻璃儀器，非加工部位（允許加工后達到要求）的技術(shù)要求如下。

（1）QSY透明石英玻璃儀器：

儀器的一級品外觀指標不低于相應(yīng)管材的二級品；

儀器的二級品外觀指標不低于租應(yīng)管材的三級品。

（2）DSY透明石英?，攦x器：

儀器的一級品外觀指標不低于相應(yīng)管材的二級品；

儀器的二級品外觀指標不低于相應(yīng)管材的四級品。